Envaït el territori pels francesos (1796), restà establerta la monarquia (1801) amb Lluís I de Borbó, duc de Parma, nebot de la reina d’Espanya, Maria Lluïsa. A més, fou atorgada a França la part de l’illa d’Elba que pertanyia a l’antic ducat i fou annexat al nou regne el principat de Piombino, que poc després fou canviat pels Presidis de Toscana. Lluís I, en morir (1803), fou succeït per la seva muller, Maria Lluïsa, regent de l’hereu Lluís II, i el seu govern permeté l’asil als enemics de França, la qual cosa irrità Napoleó, que abolí la monarquia (tractat de Fontainebleau, octubre del 1807) i annexà el territori als seus dominis (1808). El 1809 hi restablí el gran ducat, a nom de la seva germana Elisa.