MEMS (en sigla), Micro-Electro-Mechanical Systems (en)
m
Electrònica i informàtica
Dispositiu electromecànic en miniatura (nanotecnologia d’entre 1 i 100 micres) que, sota el control de camps electromagnètics, obre i tanca contactes elèctrics per a deixar passar senyals de freqüències que arriben fins a la banda de les microones.
També poden acostar o separar conductors miniatura, cosa que s’utilitza per a fer capacitats variables o micromotors lineals.