microsistema

m
Tecnologia

Instrument o màquina les dimensions del qual són de l’ordre de 10- 6 m.

Una tècnica habitual per a produir aquests sistemes, semblant a les que hom fa servir en microelectrònica, consisteix esquemàticament a irradiar amb raigs X un material, recobert d’una màscara o plantilla del sistema; a atacar, seguidament, amb un àcid les zones radiades; i a omplir els buits micromètrics resultants amb or, níquel, coure o ceràmica. Troben aplicació en pantalles planes, sistemes de projecció de televisió (micromiralls mòbils) i en camps molt diversos, com a sensors, actuadors, dosificadors, etc.