Capella situada al terme parroquial de Sant Esteve de Vilanova del Vallès, al costat de can Palau. Sembla que existia el 993 quan es fa esment de la “Domus Sancte Marie” en dit lloc. L’any 1325 tenia la categoria de sufragània i dos parroquians seus es comprometeren a reparar-la. L’any 1367 el visitador, en trobar-se la capella en perill de ruïnes i en un lloc d”‘horroris et vaste solitudinis”, donà permís per a traslladar la imatge a la parroquial. Es devia restaurar poc després perquè hi ha constància de continuïtat del culte el 1536 i de l’erecció d’una confraria dedicada a la Nativitat de Maria el 1555. En les visites pastorals del segle XVIII (1742 a 1746), consta com a Santa Maria del Palau, amb culte a càrrec dels propietaris del mas.